配管加熱ヒータ(水 加熱) - メーカー・企業と製品の一覧

配管・真空チャンバー用加熱・保温ヒーター活用事例

配管に流れる気体・液体を加熱・保温する、あるいは真空チャンバーを加熱するヒーターです。

半導体製造装置メーカー、海外の半導体製造工場においては、半導体製造装置のガス配管中のガス寝込み（周囲温度が低いときにガスが液化する現象）防止用としてガス配管に取付けて使用する加温用ヒータです。

• 企業：株式会社スリーハイ
• 価格：応相談

• シリコンヒータ